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高純氫氣發(fā)生器(CVD,MOCVD/金剛石MPCVD/半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器)不僅能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣，還具有多項結(jié)構(gòu)優(yōu)勢和應(yīng)用功能，是半導(dǎo)體制造過程中重要的設(shè)備。

相比昂貴且危險的高壓氫氣鋼瓶，氫氣發(fā)生器具有很大的優(yōu)勢。它只需要去離子水和供電即可產(chǎn)生氫氣，一次加水可持續(xù)工作長達15天，成本低廉。

HYDROGEN-2L/3L氫氣發(fā)生器只需提供去離子水和供電即可產(chǎn)生氫氣，設(shè)備是一種能夠連續(xù)可靠地產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備，其純度可達到99.9999%以上。

HYDROGEN/5L/10L/17L氫氣發(fā)生器是由超純水機制取二級水，并儲存至水箱備用的設(shè)備。當(dāng)氫氣發(fā)生器缺水時，它會自動供給水。此外，多臺氫氣發(fā)生器還可以串聯(lián)使用，通過串聯(lián)控制線由一臺發(fā)生器控制其他發(fā)生器，實現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。

CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作方便使用時只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無需泄壓，直接關(guān)閉電源即可?？蛇B續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。

高壓氫氣發(fā)生器工作原理主要涉及水電解和化學(xué)反應(yīng)兩個方面。在高壓氫氣發(fā)生器中，通過通電使水電解，產(chǎn)生氫氣和氧氣，然后將氫氣收集起來，供應(yīng)給工業(yè)生產(chǎn)中需要使用氫氣的設(shè)備和工藝。