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CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作注意要點

一、引言化學(xué)氣相沉積(ChemicalVaporDeposition，CVD)和金屬有機化學(xué)氣相沉積(MetalOrganicChemicalVaporDeposition，MOCVD)是兩種在半導(dǎo)體制造中廣泛應(yīng)用的薄膜沉積技術(shù)。這兩種技術(shù)都需要使用高純度的氫氣作為反應(yīng)氣體。因此，CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器的操作對于保證薄膜質(zhì)量和設(shè)備安全至關(guān)重要。二、儀器簡介CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器是一種能夠產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體制造中的CVD和MOCVD過程。該...

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使用大流量氮氣發(fā)生器時所需要注意的事項介紹

氮氣是空氣中體積分數(shù)Zda的一種惰性氣體，化學(xué)分子式為N2，通常狀態(tài)下無色無味，比空氣密度小。氮氣化學(xué)性質(zhì)不活潑，常溫下難與其他物質(zhì)進行反應(yīng)，因此通常被用作保護氣體，液氮可用作深度冷凍劑，高純氮氣可用作色譜等儀器的載氣，氮氣的性質(zhì)決定了它的用途的廣泛。大流量氮氣發(fā)生器采用的是電催化方式，其中電解池是操縱燃料電池的逆過程設(shè)計而成。由于壓力是不變的，干凈的進料空氣送入電解槽，空氣中的氧氣被吸附在陰極電子獲得，生成氫氧根離子和水的影響，并遷移到陽極，然后在陽極處失電子析出氧氣。只留...

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大流量氫氣發(fā)生器中氫氣的凈化方法分享

大流量氫氣發(fā)生器是實驗室用來制備氫氣的儀器，常溫常壓下，氫氣是一種易燃燒，無色透明、無臭無味的氣體。質(zhì)量只有空氣的1/14，即在0℃時，一個標準大氣壓下，密度為0.0899g/L。所以可作為飛艇、氫氣球的填充氣體(由于具有可燃性，安全性不高，飛艇現(xiàn)多用氦氣填充)，本氣體是相對分子質(zhì)量小的物質(zhì)，主要用作還原劑。今天咱們來了解下大流量氫氣發(fā)生器中氫氣的凈化方法：氫氣從電解槽電解出來之后，都需要經(jīng)過凈化才能供氣相色譜儀使用，常用的凈化方式主要有以下幾種：1、變壓吸附凈化系統(tǒng)變壓吸附...

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下次遇到空氣發(fā)生器出現(xiàn)故障就這么辦！

空氣發(fā)生器是一種常用的發(fā)生器產(chǎn)品，空氣發(fā)生器主要由空壓機、制冷機、吸附器、三級精密干燥空氣過濾器、電控系統(tǒng)、減壓閥、露點儀等部分組成。壓縮后的空氣進入預(yù)冷器冷卻后進入離心脫水過濾器中進行水氣分離，再進入制冷機深度冷凝脫水，大部分水氣被凝結(jié)成水，空氣進行第二次聚結(jié)脫水過濾器，然后進入可再生干燥空氣過濾器，將剩余水氣吸附，吸附脫水后的干燥空氣進入0.01μm高精度過濾器中去除微粒后經(jīng)穩(wěn)壓閥輸送到需要干燥氣體的設(shè)備中，以保證變壓器不會因雜質(zhì)降低絕緣強度。在空氣發(fā)生器的使用過程中，如...

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零級空氣發(fā)生器壓力為零的故障案例分析

當對各崗位的設(shè)備運行和環(huán)境衛(wèi)生進行巡檢，發(fā)現(xiàn)了一臺正在運行的氣相色譜（那天沒有分析任務(wù)）和空氣、氮氣發(fā)生器壓力不正常，空氣和氮氣的壓力只能維持在0.3MPa，壓力下降，因為氮氣的氣源也來自空氣發(fā)生器，現(xiàn)在零級空氣發(fā)生器的壓力降到0.3MPa，所以氮氣的壓力也一定跟著降到0.3MPa。根據(jù)判斷，決定對本設(shè)備進行處理。經(jīng)檢查，零級空氣發(fā)生器的電源部分和壓縮機主機沒有問題，可能是壓力控制系統(tǒng)出問題，也可能是啟動壓縮機前面的行程開關(guān)出現(xiàn)問題，使該設(shè)備一直處于停運狀態(tài)（查看壓縮機前面的...

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